一种基于微球结构的MEMS惯性开关

本发明公开了一种基于微球结构的MEMS惯性开关，包括：盖板、微球、底座，盖板上设置有微球通道，微球表面导电，底座中底座体中心设置有凹型半球状的平衡陷阱，在平衡陷阱周围有若干导通陷阱，导通陷阱上设置有两个陷阱电极，相邻两个导通陷阱之间设置有焊盘，焊盘与相邻的陷阱电极电性连接。当微球在外界加速度作用下，从平衡陷阱中通过微球通道的引导跃至任一导通陷阱的两个陷阱电极的间隔上时，MEMS惯性开关中与导通陷阱相邻的两个焊盘通过微球形成导通状态。本方案各部分之间采用纯机械结构，通过结构之间的配合感知外界加速度，同时满足阈值可调、面内万向性、抗高过载、抗电磁干扰、导通时间长、接触电阻小、导通接触稳定可靠、双稳态的特性。
西安交通大学